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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0322443(A) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 JP19890157412 申请日期 1989.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAGAYOSHI SHINSUKE
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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