发明名称 DIELECTRICALLY ISOLATED SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0335741(A3) 申请公布日期 1991.01.30
申请号 EP19890303219 申请日期 1989.03.31
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 YAMAGUCHI, YOSHIHIRO C/O PATENT DIVISION;WATANABE, KIMINORI C/O PATENT DIVISION;NAKAGAWA, AKIO C/O PATENT DIVISION;FURUKAWA, KAZUYOSHI C/O PATENT DIVISION;FUKUDA, KIYOSHI C/O PATENT DIVISION;TANZAWA, KATSUJIRO C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/94 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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