Photosensitive composition.

摘要

Lichtempfindliche Gemische aus einem Polymeren und einer photoaktiven Komponente, die wäßrig-alkalisch entwickelbar sind, zeigen dann ein gutes Ausbleichverhalten im DUV-Bereich, wobei die photoaktive Komponente gute Lösungsinhibitoreigenschaften aufweist und sich während des Trocknungsprozesses nicht verflüchtigt, wenn die photoaktive Komponente Diazotetronsäure oder ein Diazotetronsäurederivat folgender Struktur ist: <IMAGE> wobei die Reste R gleich oder verschieden sind und H, Alkyl, Cycloalkyl, Aryl oder einen siliciumhaltigen Rest bedeuten.