METHOD FOR MEASURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19890157690-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MEASURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH0321812(A)	申请公布日期	1991.01.30
申请号	JP19890157690	申请日期	1989.06.19
申请人	NEC CORP	发明人	FUJII MOYURU
分类号	G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66	主分类号	G01B11/30
代理机构		代理人
主权项
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