发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING SPECIMEN
摘要
申请公布号 JPH0320642(A) 申请公布日期 1991.01.29
申请号 JP19890156185 申请日期 1989.06.19
申请人 CANON INC 发明人 SAITO ATSUSHI;MIYAMOTO MORITOSHI
分类号 G01N15/14 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
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