| 发明名称 |
MICROWAVE TREATING DEVICE HAVING MAGNETIC FIELD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0320469(A) |
申请公布日期 |
1991.01.29 |
| 申请号 |
JP19890152910 |
申请日期 |
1989.06.15 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;SUMINO SHINYA;HIROSE NAOKI;ARAI YASUYUKI;ISHIDA NORIYA |
| 分类号 |
B01J19/08;B01J19/12;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B25/02;C30B33/12 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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