发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPLEMENTARY MIS INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0320074(A) |
申请公布日期 |
1991.01.29 |
申请号 |
JP19890155418 |
申请日期 |
1989.06.16 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
YAMAOKA TORU;MANABE KENJI |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/336;H01L27/08;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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