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发明名称 MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND METHOD FOR PROCESSING ITS INTERPLAYER FILM
摘要
申请公布号 JPH0321024(A) 申请公布日期 1991.01.29
申请号 JP19890154592 申请日期 1989.06.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 MATSUZAKI SAKAE
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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