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发明名称 METHOD OF DETECTING DEFECTS IN CVD FILM
摘要
申请公布号 JPH0320059(A) 申请公布日期 1991.01.29
申请号 JP19890155390 申请日期 1989.06.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SAKAI KATSUO
分类号 H01L21/316;H01L21/66 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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