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经营范围
发明名称
BONDING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0319249(A)
申请公布日期
1991.01.28
申请号
JP19890154200
申请日期
1989.06.15
申请人
TORAY ENG CO LTD
发明人
HIROTA MASAKAZU;AKITA MASANORI
分类号
H01L21/603;H01L21/60
主分类号
H01L21/603
代理机构
代理人
主权项
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