发明名称 TARGET KEYS FOR WAFER PROBE ALIGNMENT
摘要
申请公布号 KR910000607(B1) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 KR19860070864 申请日期 1986.12.05
申请人 SGS SEMICONDUCTOR CORP. 发明人 LEUSCHNER, HORST
分类号 G01R31/00;(IPC1-7):G01R31/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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