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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0319341(A) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 JP19890154923 申请日期 1989.06.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKI SEIJI
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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