发明名称 SCANNING TYPE TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0318704(A) 申请公布日期 1991.01.28
申请号 JP19890154136 申请日期 1989.06.16
申请人 JEOL LTD 发明人 IWATSUKI MASASHI
分类号 G01B7/34;G01N27/00;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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