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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0317946(A) 申请公布日期 1991.01.25
申请号 JP19890149542 申请日期 1989.06.14
申请人 ULVAC CORP 发明人 SAITO MASAKI
分类号 H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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