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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0318016(A) 申请公布日期 1991.01.25
申请号 JP19890152561 申请日期 1989.06.15
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KUNIHARA KENJI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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