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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0318061(A) 申请公布日期 1991.01.25
申请号 JP19890153205 申请日期 1989.06.14
申请人 SHARP CORP 发明人 OMAE TSUTOMU
分类号 H01L29/43;H01L21/28 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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