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发明名称 ATTACHMENT BOARD OF PROBER
摘要
申请公布号 JPH0317567(A) 申请公布日期 1991.01.25
申请号 JP19890151231 申请日期 1989.06.14
申请人 NEC CORP 发明人 IKEGAMI FUMIO
分类号 G01R31/02;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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