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发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0316685(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19890150189 申请日期 1989.06.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YOKOYAMA MASAKAZU
分类号 B08B5/02;H01L21/304 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
主权项
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