| 发明名称 |
PATTERNING OF SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0316187(A) |
申请公布日期 |
1991.01.24 |
| 申请号 |
JP19890014729 |
申请日期 |
1989.01.24 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
BOKU KEIKOU;YOSHIKAWA KOTA;AWAJI NAOKI |
| 分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;H01B13/00;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L39/24;H05K3/10 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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