发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0316122(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19900065141 申请日期 1990.03.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIHATA AKIRA;SATO HIROSUKE;OMINE TOSHIMITSU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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