发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND AUTOMATIC FORMATION OF WIRING THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0316241(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19890149634 申请日期 1989.06.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO YASUO;YUYAMA YASUSHI;KAWAJI MOTONORI;HAIJIMA MIKIO
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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