发明名称 VERFAHREN ZUM AUFFUELLEN VON TRENCHSTRUKTUREN IN HALBLEITERSUBSTRATSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD286457(A5) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 DD19870303851 申请日期 1987.06.16
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 BERTOLDI,WERNER,DE;KUEHNE,HEINZ,DE;KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DE;MORGENSTERN,THOMAS,DE;WEBER,CHRISTIAN,DE
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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