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发明名称 LOW TEMPERATURE DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0316210(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19890149609 申请日期 1989.06.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARAI MAKOTO;TAJI SHINICHI;TSUJIMOTO KAZUNORI;OKUDAIRA SADAYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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