发明名称 MANUFACTURE OF INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH0316214(A) 申请公布日期 1991.01.24
申请号 JP19890151839 申请日期 1989.06.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTSUKA REI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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