| 发明名称 |
PROCESS AND MACHINERY FOR STEP AND REPEAT VACUUM-DEPOSITION OF LARGE-AREA THIN-FILM ELECTRONICS MATRIX-CIRCUITS ON MONOLITHIC GLASS PANES THROUGH SMALL PERFORATED METAL MASKS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0312170(A3) |
申请公布日期 |
1991.01.23 |
| 申请号 |
EP19880202266 |
申请日期 |
1988.10.11 |
| 申请人 |
ENICHEM S.P.A. |
发明人 |
TIZABI, DJAMSHID;FISHER, ALBERT G. |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/54;G02F1/136;G02F1/1362;H01B13/00;H01L21/203;H01L21/68;H05K3/14;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
