CVD PLASMA REACTOR,申请号EP19860108057-传众专利搜索

发明名称	CVD PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号	EP0211190(B1)	申请公布日期	1991.01.23
申请号	EP19860108057	申请日期	1986.06.12
申请人	SPECTRUM CVD, INC.	发明人	BUNCH, MATTHEW LEROY;PRICE, J.B.;STITZ, ROBERT WILLIAM
分类号	C23C16/50;C23C16/48;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/31	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
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