发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0182651(B1) 申请公布日期 1991.01.23
申请号 EP19850308416 申请日期 1985.11.19
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAKIHARA, YOSHINOBU
分类号 H01L27/00;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/762;H01L21/84 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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