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发明名称 Method of making unpinned oxide-compound semiconductor structures
摘要
申请公布号 US4987095(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 US19880207700 申请日期 1988.06.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 BATEY, JOHN;TIWARI, SANDIP;WRIGHT, STEVEN L.
分类号 H01L29/78;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/336;H01L29/267;H01L29/43 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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