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经营范围
发明名称
Semiconductor manufacturing device
摘要
申请公布号
US4986213(A)
申请公布日期
1991.01.22
申请号
US19880251940
申请日期
1988.09.28
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
发明人
YAMAZAKI, SHUNPEI;SUZUKI, KUNIO;NAGAYAMA, SUSUMU;INUJIMA, TAKASHI;ABE, MASAYOSHI;FUKADA, TAKESHI;KINKA, MIKIO;KOBAYASHI, IPPEI;SHIBATA, KATSUHIKO;SUSUKIDA, MASATO;KOYANAGI, KAORU
分类号
H01L21/30;H01L31/20
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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