发明名称 Semiconductor manufacturing device
摘要
申请公布号 US4986213(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 US19880251940 申请日期 1988.09.28
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI;SUZUKI, KUNIO;NAGAYAMA, SUSUMU;INUJIMA, TAKASHI;ABE, MASAYOSHI;FUKADA, TAKESHI;KINKA, MIKIO;KOBAYASHI, IPPEI;SHIBATA, KATSUHIKO;SUSUKIDA, MASATO;KOYANAGI, KAORU
分类号 H01L21/30;H01L31/20 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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