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发明名称 LOW TEMPERATURE PROBER
摘要
申请公布号 JPH0313874(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 JP19890149092 申请日期 1989.06.12
申请人 NIPPON MAIKURONIKUSU:KK 发明人 HASEGAWA YOSHINOBU;FURUHASHI KATSUFUSA;ANZAI MASAYUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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