发明名称 |
PROCESSO DE FABRICAR UMA MESA NUMA ESTRUTURA SEMICONDUTORA |
摘要 |
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申请公布号 |
BR9000735(A) |
申请公布日期 |
1991.01.22 |
申请号 |
BR19909000735 |
申请日期 |
1990.02.16 |
申请人 |
UNITED TECHNOLOGIES CORP. |
发明人 |
JAMES L. SWINDAL;DANIEL H. GRAMTHAM |
分类号 |
G01L9/00;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/00 |
主分类号 |
G01L9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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