发明名称 PROCESSO DE FABRICAR UMA MESA NUMA ESTRUTURA SEMICONDUTORA
摘要
申请公布号 BR9000735(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 BR19909000735 申请日期 1990.02.16
申请人 UNITED TECHNOLOGIES CORP. 发明人 JAMES L. SWINDAL;DANIEL H. GRAMTHAM
分类号 G01L9/00;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/316;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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