首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
Plasma processing method and apparatus
摘要
申请公布号
US4987004(A)
申请公布日期
1991.01.22
申请号
US19900522129
申请日期
1990.05.11
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
发明人
YAMAZAKI, SHUNPEI;TSUCHIYA, MITSUNORI;KAWANO, ATSUSHI;IMATOU, SHINJI;NAKASHITA, KAZUHISA;HAMATANI, TOSHIJI;INUSHIMA, TAKASHI;ITOU, KENJI
分类号
C23C16/517;H01J37/32;H01J37/34
主分类号
C23C16/517
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
CUTTINGS TREATMENT AND REUSE
CO-CRYSTALS OF PROPICONAZOLE
A METHOD OF PRODUCING BIOLOGICALLY ACTIVE HUMAN ACIDIC FIBROBLST GROWTH FACTOR AND ITS USE IN PROMOTING ANGIOGENESIS
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
ROTATIONSSPRINKLER MIT EINSTELLBARER WURFWEITE UND DURCHFLUSS
Stielstaubsauger mit Zyklonabscheider
CAPSULE CONTAINING PLANT PREPARATIONS
Verfahren zum immobilisieren Natriummetall in Glas
WAGEN ZUM ZERREISSEN UND MISCHEN VON FUTTER
FLEXIBLE SYSTEME ZUR STABILISIERUNG DER WIRBELSÄULE
SINGLE-SITE KATALYSATOREN BESTEHEND AUS N-OXIDEN CHELAT- LIGANDEN
METHOD AND APPARATUS FOR ROBOTIC PATH PLANNING, SELECTION, AND VISUALIZATION
METHOD OF CONTROLLING THE SPEED OF A LAYING HEAD IN A ROLLING MILL
METHOD FOR ANALYSING, VIEWING AND PROCESSING DIGITAL BIOMEDICAL IMAGES
Kestomagneettimoduuli sähkökonetta varten
Kiinnike sälekaihdinta varten
DREHSCHALTERMECHANISMUS FÜR EINE BEDIENUNGSTAFEL
MEDIA ENABLED SHOPPING CART SYSTEM AND ASSOCIATED METHODS
SYSTEM AND METHOD FOR THE OBJECTIVE MEASUREMENT OF HEARING ABILITY OF AN INDIVIDUAL
COOKING OVEN CONTROL SYSTEM AND RELATED METHODS
