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发明名称 PLASMA PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0314228(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 JP19890151638 申请日期 1989.06.13
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAI TATSUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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