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发明名称
END POINT DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0314229(A)
申请公布日期
1991.01.22
申请号
JP19890151637
申请日期
1989.06.13
申请人
NEC CORP
发明人
OKADA AKIRA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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