发明名称 ELECTRON GUN TYPE VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0313567(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 JP19890146599 申请日期 1989.06.12
申请人 HITACHI MAXELL LTD 发明人 TSUKAMOTO SHIGERU
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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