| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING WORKPIECE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0313852(A) |
申请公布日期 |
1991.01.22 |
| 申请号 |
JP19890300925 |
申请日期 |
1989.11.21 |
| 申请人 |
W R GRACE & CO |
发明人 |
DEREKU ANSONII BURAUN;JIYON NUMA WAASU;BURAIAN FURANKU SANTANIERO |
| 分类号 |
G01N21/84;G01N21/88;G01N21/954 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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