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发明名称 Thin-film coating apparatus
摘要
申请公布号 US4986873(A) 申请公布日期 1991.01.22
申请号 US19890302884 申请日期 1989.01.30
申请人 SOMAR CORPORATION 发明人 HAMAMURA, FUMIO
分类号 B65H37/04;B05C1/08;B05C9/04;B29C31/00;B29C65/78;B32B37/22;H05K3/06 主分类号 B65H37/04
代理机构 代理人
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