发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0312938(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890146834 申请日期 1989.06.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUYAMA HARUHIKO;SHOJI FUSAJI;HONDA ATSUSHI
分类号 H01L21/52;C09J179/08 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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