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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0312925(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890148905 申请日期 1989.06.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KARAHASHI KAZUHIRO;MATSUO JIRO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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