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发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0312229(A) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19890146140 申请日期 1989.06.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAUCHI TOSHIJI
分类号 B01J3/03;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 B01J3/03
代理机构 代理人
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