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发明名称
摘要
申请公布号 JPH033744(B2) 申请公布日期 1991.01.21
申请号 JP19850061064 申请日期 1985.03.27
申请人 LEYBOLD AG 发明人 PEETAA MAARAA
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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