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发明名称
摘要
申请公布号 JPH033389(B2) 申请公布日期 1991.01.18
申请号 JP19810085909 申请日期 1981.06.05
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 CHAKURAPANI GAJANAN JANBOTSUTOKAA
分类号 H01L29/78;H01L21/033;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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