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发明名称 FIXING STAND FOR ION SPUTTERING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR910000258(Y1) 申请公布日期 1991.01.18
申请号 KR19870023291U 申请日期 1987.12.28
申请人 KOREA INDUSTRIAL TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 KIM JAI-NAM
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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