FURNACE TUBE FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR,申请号JP19890145059-传众专利搜索

发明名称	FURNACE TUBE FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	JPH0311623(A)	申请公布日期	1991.01.18
申请号	JP19890145059	申请日期	1989.06.09
申请人	TOSHIBA CERAMICS CO LTD	发明人	NOZAWA TATSUO;MEGURO KAZUNORI;SATO SHUNKICHI;TABEI TAKAHIRO;HIRATA TAKESHI
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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