发明名称 |
UNIVERSAL METALLURGY FOR SEMICONDUCTOR MATERIALS |
摘要 |
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申请公布号 |
US3559003(A) |
申请公布日期 |
1971.01.26 |
申请号 |
USD3559003 |
申请日期 |
1969.01.03 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
PIERRE L. BEAUDOUIN;REINHARD GLANG;JACOB RISEMAN |
分类号 |
H01L29/43;H01L21/00;H01L21/28;H01L23/485;H01L23/522;(IPC1-7):H01L1/14;H01L5/02 |
主分类号 |
H01L29/43 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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