发明名称 UNIVERSAL METALLURGY FOR SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 US3559003(A) 申请公布日期 1971.01.26
申请号 USD3559003 申请日期 1969.01.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 PIERRE L. BEAUDOUIN;REINHARD GLANG;JACOB RISEMAN
分类号 H01L29/43;H01L21/00;H01L21/28;H01L23/485;H01L23/522;(IPC1-7):H01L1/14;H01L5/02 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
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