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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0310074(A)
申请公布日期
1991.01.17
申请号
JP19890144971
申请日期
1989.06.06
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
KIYAMA SEIICHI;KUROKAWA MICHIHIRO;OSUMI MASATO
分类号
C30B23/08;B01J19/08;C23C14/06;C23C14/46;C30B28/12;C30B29/38
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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