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发明名称 SELEKTIVES ANISOTROPISCHES REAKTIVES IONENAETZVERFAHREN FUER ZUSAMMENGESETZTE STRUKTUREN AUS POLYSILIZIDEN.
摘要
申请公布号 DE3580796(D1) 申请公布日期 1991.01.17
申请号 DE19853580796 申请日期 1985.07.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 MERKLING, JR., ROBERT MITCHELL, GAINESVILLE, VA 22065, US;STANASOLOVICH, DAVID, MANASSAS, VA 22110, US
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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