| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0310085(A) |
申请公布日期 |
1991.01.17 |
| 申请号 |
JP19890143094 |
申请日期 |
1989.06.07 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
IMAI YASUYUKI;YOKOYAMA KAZUO |
| 分类号 |
C23C18/18;C23C18/31;C23C18/36;C23C18/52;G11B5/73;G11B5/738;G11B5/82;G11B5/84;G11B5/858 |
主分类号 |
C23C18/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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