| 发明名称 |
PRODUCTION OF NICR THIN FILM RESISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0310068(A) |
申请公布日期 |
1991.01.17 |
| 申请号 |
JP19890143483 |
申请日期 |
1989.06.06 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
YAMADA TORU |
| 分类号 |
C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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