发明名称 APPARATUS FOR THE APPLICATION OF MATERIALS
摘要
申请公布号 AU605631(B2) 申请公布日期 1991.01.17
申请号 AU19880022702 申请日期 1988.09.21
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. RAINER LUDWIG;DR. ALFRED THELEN;GREGOR A. CAMPBELL;FRIEDRICH HASS;ROBERT W. CONN;DANIEL M. GOEBEL;ROLF ADAM;DR. HANS AICHERT;DR. HANS BETZ;DR. ANTON DIETRICH;DR. GONDE DITTMER;DR. KLAUS HARTIG;DR. MAX MAYR
分类号 C23C14/34;C23C14/00;C23C14/46;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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